Ceramica SiC

A ceramica SiC hè aduprata sempre di più in l'apparecchiature à semiconduttori, soprattuttu perchè resistenu megliu in cundizioni più difficili. Quandu a temperatura diventa alta o u prucessu diventa più aggressivu, i materiali cum'è u quarzu o u siliciu ponu cumincià à mustrà limiti, è hè di solitu quì chì entra in ghjocu u SiC. In i prucessi di fornu cum'è l'ossidazione o a diffusione, e parti cum'è e barche di wafer o e pale fatte di SiC tendenu à durà più longu. Mantenenu a so forma è ùn portanu micca molta contaminazione, ancu dopu à longhi cicli. A ghjente passa spessu da u quarzu per questa ragione, soprattuttu quandu a manutenzione diventa troppu frequente.

Per l'incisione, u SiC hè spessu sceltu solu perchè sopravvive à u plasma più longu. A differenza di durata di vita paragunata à e parti di silicone hè notevule in parechje cunfigurazioni, ancu s'ella dipende sempre da u prucessu esattu. Aiuta ancu un pocu cù u cuntrollu di e particelle, chì diventa più sensibile quandu i nodi si restringenu. Viderete ancu u SiC adupratu cum'è suscettori in MOCVD o CVD. In questi casi, si tratta menu di "forza" è più di mantene u cumpurtamentu di a temperatura stabile. Fora di questu, si prisenta in parti di a camera cum'è rivestimenti o soffioni doccia, è qualchì volta ancu in a manipulazione di cumpunenti.