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Crucible di grafite isostatica rivestita di SiC
Crucible di grafite isostatica rivestita di SiC

Crucible di grafite isostatica rivestita di SiC


U crogiolu di grafite isostatica rivestita di SiC Semixlab hè cuncipitu per applicazioni di semiconduttori esigenti, cumbinendu grafite isostatica ad alta densità cù un rivestimentu di carburo di siliciu CVD per una stabilità termica, purezza è durabilità senza pari. Ampiamente utilizati in a crescita di cristalli di SiC (metodu PVT), a crescita di monocristalli di siliciu è i prucessi di trattamentu termicu è diffusione à alta temperatura, questi crogioli offrenu una distribuzione uniforme di u calore, minimizanu a contaminazione è allunganu a vita di serviziu.

Description

U Crogiuolo di Grafite Isostaticu Rivestitu di SiC offertu da Semixlab hè cuncipitu da grafite isostatica di prima qualità, cunnisciuta per a so densità uniforme, a struttura à grani fini è a resistenza meccanica eccezziunale in cundizioni estreme. Un rivestimentu di carburo di siliciu (SiC) di Deposizione Chimica da Vapore (CVD) di alta purezza hè applicatu à a superficia di grafite, creendu un stratu densu è protettivu chì migliora significativamente a resistenza à l'ossidazione, a stabilità termica è l'inerzia chimica. Questa cumbinazione avanzata di materiali garantisce una conduttività termica superiore, una contaminazione minimizzata, una durata di serviziu estesa è prestazioni consistenti in ambienti di trasfurmazione di semiconduttori à temperature ultra elevate.

quaternu di carichi

Composizione Materiale è Pruprietà

U nostru crogiolu hè fattu di dui materiali chjave:

·Substratu di grafite isostaticu: Stu materiale di basa hè pruduttu per mezu di un prucessu di pressatura isostatica, chì assicura una struttura uniforme è d'alta densità cù una resistenza meccanica è una stabilità termica eccezziunali. Sta natura isotropica significa chì e so proprietà sò consistenti in tutte e direzzione, impedendu deformazioni è screpolature ancu sottu cicli termichi estremi. A grafite d'alta purezza chì usemu minimizza l'impurità, ciò chì hè essenziale per prevene a contaminazione in i prucessi di semiconduttori sensibili.

· Rivestimentu di carburo di siliciu (SiC): Applicatu cù un metudu avanzatu di Deposizione Chimica da Vapore (CVD), u stratu di SiC crea una barriera protettiva densa è non porosa.

Proprietà fisiche basiche di u rivestimentu CVD SiC
Property Valore tipicu
Struttura di Cristallu Policristallina di fase β FCC, principalmente orientata (111)
foltu 3.21 g / cm³
durezza Durezza di 2500 Vickers (caricu di 500 g)
Dimensione di granu 2 ~ 10μm
Purezza Chimica 99.99995%
Capacità di Calore 640 J·kg-1K-1
Temperatura di sublimazione 2700 ° C
Forza Flexurale 415 MPa RT 4 punti
Modulu di Young Curvatura 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conduttività Termica 300W·m-1K-1
Espansione Termica (CTE) 4.5 × 10-6K-1
Travaux

Ruolo Funzionale in i Prucessi di Semiconduttori

1. Crescita di cristalli di SiC (Metudu PVT)

In u metudu di Trasportu Fisicu di Vapore (PVT) per a crescita di cristalli di SiC, u crogiolu ghjoca un rollu decisivu per ottene una pruduzzione di cristalli di alta qualità. A superficia rivestita di SiC furnisce un ambiente di cuntenimentu chimicamente stabile chì impedisce reazioni indesiderate trà u sustratu di grafite è u materiale di fonte grezzu di SiC. Questu minimizza a contaminazione da carbone è migliora l'uniformità di u reticolo cristallinu. A superiore cunduttività termica di u crogiolu assicura una distribuzione stabile di u calore, chì hè cruciale per cuntrullà i gradienti di temperatura è riduce a densità di dislocazione in e boule di SiC. Di cunsiguenza, u crogiolu cuntribuisce direttamente à una migliore resa cristallina è à a qualità di e wafer per a fabricazione di dispositivi semiconduttori a valle.

2. Crescita di cristalli singuli di siliciu

Durante i prucessi di crescita di monocristalli di siliciu (cum'è u metudu Czochralski), u crogiolu deve resiste à una esposizione prolungata à temperature estremamente elevate mantenendu l'inerzia chimica. U rivestimentu di SiC serve cum'è una barriera protettiva contr'à l'ossidazione è a diffusione di l'impurità, assicurendu chì nisuna contaminazione migri in u siliciu fusu. Questu si traduce in cristalli di siliciu altamente puri cù menu difetti strutturali, ciò chì hè essenziale per a fabricazione di circuiti integrati avanzati, dispositivi di putenza è cellule fotovoltaiche. Inoltre, u rivestimentu migliora a durata di vita di u crogiolu, riducendu a frequenza di sustituzione è u costu generale di pruduzzione.

3. Trattamentu termicu à alta temperatura è prucessi di diffusione

In i prucessi di trattamentu termicu, ricottura è diffusione, i wafer di semiconduttori sò esposti à temperature elevate induve a purezza è a stabilità sò di primura. U crogiolu rivestitu di SiC offre una eccellente resistenza à a sublimazione è à u degassamentu, impedendu a generazione di particelle chì puderanu compromettere e superfici di i wafer. A so stabilità termica assicura cundizioni di riscaldamentu uniformi, chì sustenenu una diffusione precisa di u dopante è prestazioni consistenti di i wafer. Mantenendu un'atmosfera di trasfurmazione pulita è minimizendu a degradazione di u materiale, u crogiolu aiuta i pruduttori à ottene wafer affidabili è senza difetti in a pruduzzione à grande scala.

Advantage competitiva

Vantaghji di Semixlab

Semixlab si distingue cum'è un fornitore di fiducia cumbinendu l'ingegneria di precisione è una stretta garanzia di qualità. Ogni crogiolu di grafite rivestitu di SiC hè sottumessu à rigorosi testi di fabbrica per assicurà l'adesione di u rivestimentu, l'uniformità di u spessore è e prestazioni sottu cicli termichi. L'impresa furnisce suluzioni persunalizate, adattendu e dimensioni di u crogiolu, u spessore di u rivestimentu è e proprietà di a superficia per risponde à i requisiti specifici di u prucessu.

Oltre à a fabricazione, Semixlab furnisce ancu cunsultazioni tecniche è supportu applicativu, aiutendu l'ingegneri di semiconduttori è e squadre di acquisti à selezziunà u disignu di crogiolu più adattatu per e so cundizioni di prucessu. Cù u so forte impegnu per a qualità è a persunalizazione, Semixlab garantisce una furnitura affidabile è prestazioni à longu andà per a pruduzzione di semiconduttori avanzati.

U nostru Services

Negoziu di prudutti Semixlab

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