Parti di Quartz

U quarzu hè sempre in ogni locu in a trasfurmazione di i semiconduttori. Ùn hè micca novu, ma hè affidabile, è a maiò parte di e fabbriche cunnoscenu u so cumpurtamentu. Basta chì a purità sia cuntrullata, funziona bè in e tappe di diffusione, ossidazione è pulizia.

Parechje parte di quarzu sò aduprate in sistemi di forni o strumenti PECVD. L'aspettativa principale hè a stabilità - micca necessariamente una longa durata di vita, ma prestazioni prevedibili. Questu hè di solitu abbastanza bonu per parechji prucessi standard.

Benintesa, u quarzu hà i so limiti. Pò usà si più rapidamente in certe cundizioni, soprattuttu paragunatu à u SiC. Ma perchè hè relativamente faciule da truvà è micca troppu caru, a ghjente l'usa sempre assai.