Barca di wafer di quartz semiconductor

I battelli di wafer di quarzu à semiconduttore Semixlab sò strumenti di supportu chjave cuncepiti per prucessi à alta temperatura cum'è diffusione, ossidazione, CVD, ricottura, ecc., in a fabricazione di semiconduttori. Fattu di quarzu sinteticu di alta purezza cù eccellente resistenza à alta temperatura, stabilità chimica è bassu coefficiente di dilatazione termica, pò purtà wafer stabilmente in ambienti di prucessu difficili per assicurà a cunsistenza di u prucessu è u rendimentu di u produttu.

Attrezzatura applicabile: Compatibile cù tutti i tipi di Fornu di Diffusione Orizzontale/Verticale (Fornu di Diffusione Orizzontale/Verticale), sistema LPCVD è apparecchiature di trattamentu termicu rapidu (RTP).

Assicuranza di qualità

Cuntrollu di qualità strettu: rilevazione di perdite per spettrometria di massa di eliu à 100% (tassa di perdita <1×10⁻⁹ mbar·L/s). U rapportu di purità di u materiale (test ICP-MS) hè emessu per ogni lottu.

Norme di certificazione: In cunfurmità cù e specificazioni SEMI F47, per mezu di a certificazione di u sistema di gestione di a qualità ISO 9001: 2015.

Durata di vita: a durata media in cundizioni nurmali hè più di 2 anni (secondu a frequenza di u prucessu è e cundizioni di temperatura).

Perchè sceglie a nostra barca di quarzu?

Servizi persunalizati: Dimensioni è custruzzione persunalizate secondu u mudellu di l'equipaggiu (TEL, Kokusai, ASM, ecc.) è i requisiti di u prucessu.

Risposta rapida: U tempu di consegna standard hè di 3 settimane, l'ordini urgenti ponu esse ridutti à 10 ghjorni lavorativi.

Rete di serviziu glubale: Fornisce cunsiglii tecnichi, guida per l'installazione è assistenza di manutenzione post-vendita. Specifiche di i materiali.

Specificazione di u prughjettu

Sintesi di materiali Quarzu fusu

Purità ≥99.99% SiO₂

Compatibilità di a dimensione di a cialda 8 ", 12" (pò esse persunalizata 6 "o 18")

Temperatura di funziunamentu ≤1200 °C (continuu) / 1300 °C (piccu)

Coefficiente di dilatazione termica (CTE) 0.55 × 10⁻⁶ / °C (20-1000 °C)

Rugosità superficiale (Ra) ≤0.2 μm

Capacità standard 25/50/100 pasticche

Gas di prucessu applicabili O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl, ecc.

Ossidazione/diffusione à alta temperatura: dopaggio di siliciu (diffusione di fosforu, boru), crescita di l'ossidu di porta.

Deposizione di film sottili: siliciu policristallinu LPCVD, deposizione di nitruro di siliciu (Si₃N₄).

Prucessu di ricottura: ricottura dopu l'impiantu ionicu (RTA), lega di metalli.

Semiconduttore di terza generazione: carburo di siliciu (SiC), prucessu di epitaxia di nitruro di galliu (GaN).

1. Caratteristiche materiali

Quarzu di purezza ultra elevata (>99.99% SiO₂): evita l'inquinamentu da ioni metallichi (Na+, K+, Fe³+, ecc.) è risponde à i requisiti di pulizia per i prucessi avanzati (nodi <5nm).

Resistenza à alta temperatura: temperatura di funziunamentu cuntinuu di 1200 °C, resistenza à a temperatura istantanea di 1300 °C, nisun risicu di deformazione o cristallizazione.

Inerzia chimica: Resiste à i gasi di prucessu cum'è HCl, H₂, O₂, SiH₄ è ambienti acidi/alcalini. Non corrosivu in l'usu à longu andà.

2. Cuncepimentu di precisione

Ottimizà a struttura:

A precisione di a spaziatura di e fessure hè di ± 0.05 mm, assicurendu un pusizionamentu precisu di e cialde (8/12 pollici) è prevenendu graffi o spostamenti.

Design resistente à i shock termichi, adattassi à una rapida salita è calata (velocità di riscaldamentu ≤20 ° C / min).

Bassa furmazione di particelle: A superficia hè lucidata cù ultra precisione (Ra ≤0.2 μm) per riduce l'attaccamentu è a caduta di e particelle.

3. Cunfigurazione diversificata

Capacità Opzionale: Supporta 25 pezzi, 50 pezzi, 100 pezzi è altre specifiche standard, pò ancu esse persunalizatu cù un numeru di slot non standard.

Adattazione di u tipu: Barca aperta, Barca chjusa o tipu speciale di barca (cum'è u cuncepimentu di u canale di diversione di u fondu di a barca).

Q1: Pudete furnisce una taglia non standard o un disignu speciale?

A1: Semixlab supporta i servizii persunalizati, cumprese l'aghjustamentu di a dimensione, u limite superiore di temperatura (aghjurnamentu di u materiale necessariu) o u tipu d'interfaccia. Per piacè cuntattate a squadra tecnica di Semixlab per esigenze specifiche.

Q2: Quantu hè u tempu di consegna?

A2: U tempu di consegna per i prudutti standard hè di 4-6 settimane, è u tempu di cuncepimentu è verificazione per i prudutti persunalizati hè di 2-3 settimane.

Q3: Offrite assistenza tecnica post-vendita?

A3: Iè, offremu cunsultazioni tecniche per tutta a vita è servizii di risposta d'emergenza. In casu di prublemi d'installazione o d'usu, a squadra di supportu pò esse cuntattata in ogni mumentu per email o per telefonu.

Q4: U pruduttu risponde à i standard di l'industria di i semiconduttori?

A4: Iè, u prucessu di pruduzzione hè cunforme à i standard SEMI è hè certificatu da u sistema di gestione di a qualità ISO 9001. Ogni lottu hè testatu per a tenuta d'aria, a resistenza à a temperatura è a purità prima di lascià a fabbrica.