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Tubu di diffusione di quarzu d'alta purezza
Semixlab hè un fabricatore principale di cumpunenti di quarzu in Cina, specializatu in a cuncepzione è a pruduzzione di tubi di diffusione di quarzu di alta purezza per i prucessi di ossidazione, diffusione è ricottura di semiconduttori. Fabbricati da silice fusa ultrapura (≥99.99% SiO₂) è raffinati attraversu una furmazione di precisione è un strettu cuntrollu di contaminazione, ogni tubu garantisce una stabilità termica eccezziunale è livelli di impurità metalliche ultra bassi. Aspittendu cun impazienza a vostra ulteriore cunsultazione.
Description
U Tubu di Diffusione di Quarzu d'Alta Purezza Semixlab hè specificamente cuncipitu per i prucessi termichi à alta temperatura in a fabricazione di semiconduttori, cumprese l'ossidazione, a diffusione di dopanti è a ricottura.
Fabbricatu da silice fusa di purezza ultra-alta (≥99.99% SiO₂), ogni tubu hè cuncipitu per furnisce una stabilità chimica eccezziunale, una contaminazione minima è una uniformità termica precisa, assicurendu risultati di trasfurmazione di wafer consistenti in ambienti di camera bianca esigenti.
Ch'elli sianu integrati in forni di diffusione verticali o orizzontali, i tubi di quarzu di Semixlab sò furmati cù precisione è testati accuratamente per risponde à i requisiti rigorosi di a fabricazione di circuiti integrati, LED, MEMS è dispositivi di putenza.
Travaux
Applicazioni in i prucessi di semiconduttori
1. Ossidazione termale
In i forni d'ossidazione termica, i tubi di diffusione di quarzu agiscenu cum'è a camera di reazione primaria induve i wafer di siliciu sò esposti à vapore O₂ o H₂O à temperature elevate (900-1150 °C).
● Fornisce un ambiente d'ossigenu pulitu è stabile per una crescita uniforme di SiO₂.
● Elimina a contaminazione da ioni metallichi, assicurendu una alta integrità dielettrica per l'ossidi di porta è d'isolamentu.
U tubu di diffusione di quarzu d'alta purezza hè ideale per a trasfurmazione di wafer
2. Diffusione di Dopanti
I tubi di diffusione di quarzu sò aduprati per diffondere l'atomi dopanti (cum'è u fosforu o u boru) in u sustratu di siliciu per creà i profili di giunzione desiderati.
● Una eccellente inerzia chimica impedisce a contaminazione durante e reazioni di POCl₃ o BBr₃.
● Mantene una alta purezza ancu in atmosfere à base di alogeni.
3. Prucessi di ricottura è di drive-in
Dopu l'impiantu o a deposizione di ioni, i wafer sò sottumessi à una ricottura à alta temperatura per attivà i dopanti è riparà i danni à u reticolo.
● I tubi di quarzu furniscenu una camera termicamente uniforme è à bassa contaminazione per risultati stabili è riproducibili.
● Adattu sia per ambienti di ricottura N₂ sia per ambienti di ricottura à gas di furmazione.
4. LPCVD è R&D Trattamentu Termicu
In i forni LPCVD à piccula scala o di ricerca, i tubi di diffusione di quarzu ponu serve sia cum'è camera di reazione sia cum'è camera di cuntenimentu.
● Ideale per a deposizione di polisilicio, nitruro di silicio è filmi d'ossidu.
● Assicura una bassa furmazione di particelle è una alta ripetibilità in tutte e corse.
Advantage competitiva
Vantaghji di Semixlab
1. Purità di u materiale è tracciabilità
Ogni tubu di quarzu hè fattu di silice fusa ultra pura proveniente da fornitori certificati. I rapporti d'analisi ICP-MS sò dispunibili à dumanda, garantendu a tracciabilità di ogni lottu.
2. Fabbricazione di precisione è persunalizazione
Semixlab offre disinni persunalizati per risponde à e dimensioni specifiche di u fornu, i profili termichi è i mudelli di flussu di gas richiesti da i clienti.
Opzioni sò include:
● Configurazioni di tubi verticali o urizzuntali
● Diametri persunalizati, spessori di parete è flange terminali
● Finiture superficiali lucidate o incise
● Disegni di manipolazione speciali per i trasportatori multi-wafer
3. Test rigorosi è garanzia di qualità
Ogni tubu di diffusione hè sottumessu à ispezione dimensionale, prova di integrità superficiale è simulazione di stress termicu prima di a spedizione. Questu garantisce a compatibilità cù i sistemi di forni di diffusione leader di l'industria cum'è TEL, Kokusai, Centrotherm è ASM.
