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Scudo è otturatore di quarzu opacu di alta purezza per MOCVD
I cumpunenti di quarzu opacu d'alta purità sò cuncepiti per i prucessi MOCVD à semiconduttori, cumpresi i cunsumabili critici cum'è i schermi termichi è l'otturatori di precisione. Sfruttendu un mecanismu unicu di scattering di microbolle internu, sti cumpunenti cunvertenu a radiazione termica lucalizzata in radiazione superficiale à infrarossi luntani assai uniforme, aumentendu significativamente l'uniformità di u stratu epitassiale. Cù una purezza ≥99.999% è un coefficiente di espansione termica estremamente bassu, furniscenu una schermatura termica superiore à temperature superiori à 1100 ℃, riducendu à tempu u cunsumu energeticu è prevenendu a contaminazione metallica, rendenduli una suluzione ideale è economica per e linee di pruduzzione di grande vulume.
Description
Microstruttura: A struttura densa di microbolle furnisce prestazioni superiori di diffusione termica.
Quarzu Opacu: A "Barriera di Temperatura Uniforme" per i Prucessi MOCVD
U nostru Quarzu Opacu Fusu d'Alta Purezza hè assai più cà un materiale di quarzu standard. Hè fabbricatu per mezu di un prucessu di fusione specializatu chì introduce un grande vulume di micro-bolle uniformi, cù diametri cuntrullati precisamente trà 10-100 µm. Queste bolle sò u core di e prestazioni termiche eccezziunali di u materiale:
● Scattering infrarossu è cunversione à infrarossu luntanu (FIR):
A radiazione primaria di l'elementi riscaldanti MOCVD (cum'è i filamenti di tungstenu o a grafite) hè custituita principalmente da luce vicinu à l'infrarossu (NIR). U quarzu trasparente hè guasi interamente permeabile à u NIR, ciò chì porta à una cuncentrazione di calore lucalizzata è à "punti caldi" nantu à u sustratu. E bolle interne in u quarzu opaco facilitanu innumerevoli riflessioni interne è scattering, bluccendu efficacemente a penetrazione diretta di u NIR. U calore hè assorbitu è riemessu cum'è una radiazione superficiale più uniforme in l'infrarossu luntanu (FIR). Questa cunversione assicura un campu termicu estremamente omogeneu in a camera MOCVD, chì hè cruciale per ottene strati epitassiali uniformi è di alta qualità.
● Ultra-Alta Purezza è Bassu Cuntenutu di Idrossi (OH):
Per i prucessi di semiconduttori front-end, cuntrollemu strettamente a purità di SiO2 à u livellu di 5N (99.999%) è mantenemu u cuntenutu di idrossile (OH) à < 5 ppm. Questu assicura chì in ambienti à altu vuotu superiore à 1000 ℃, ùn si liberanu ioni metallichi dannosi o umidità, pruteggendu l'integrità di e strutture sensibili di i pozzi quantichi.
| elimentu | Cuntenutu Tipicu (ppm) | Metudu di rilevazione |
| Aluminium (Al) | <15 | ICP-OES |
| Calcio (Ca) | <1.0 | ICP-OES |
| Ferru (Fe) | <0.5 | ICP-OES |
| Sodiu (Na) | <1.0 | ICP-OES |
| idrossile (OH) | <5 | F |
| Purezza Totale | ≥99.999% | Calculatu |
Travaux
Scenarii tipici di l'applicazione
I nostri cumpunenti di quarzu opachi ùn sò micca solu rimpiazzamenti; sò suluzioni ottimizzate per sfide specifiche di trasfurmazione termica.
Scenariu A: Prutezzione di a Camera MOCVD per Semiconduttori Cumposti (GaN, SiC)
● Puntu di dulore: Durante a crescita di GaN o SiC, e temperature elevate è i flussi di precursori corrosivi (cum'è l'ammoniaca NH3 è TMGa) portanu à una pesante deposizione di sottoprodotti nantu à e pareti di a camera costose è i riscaldatori di grafite. Questu si traduce in frequenti tempi di inattività per a manutenzione preventiva (PM) è un aumentu di u costu di pruprietà (CoO).
● Soluzione: L'usu di quarzu opacu di alta purezza cum'è Scudo Termicu (Rivestimentu di a Camera) furnisce un "stratu sacrificale" ecunomicu. Mentre raccoglie i depositi, u so isolamentu superiore prutege i muri di a camera in acciaio inox, allungendu u ciclu PM di più di u 30%.
Scenariu B: Cuntrollu di l'interfaccia in strutture multi-quantum well (MQW)
● Puntu di dulore: A fabricazione di strutture MQW ultra-sottili per LED o laser richiede una precisione à livellu atomicu in a commutazione di gas precursori. Ogni deformazione termica o ritardu meccanicu in l'otturatore provoca un "allargamentu di l'interfaccia", degradendu significativamente e prestazioni optoelettroniche di u dispusitivu.
● Soluzione: I nostri persiani di quarzu di precisione sfruttanu u coefficientu estremamente bassu di dilatazione termica di u quarzu opaco. Questu assicura una planarità perfetta è una stabilità strutturale durante a commutazione à alta velocità è i cicli termichi rapidi, permettendu un veru "Controllu di u Stratu Atomicu".
