Feltru di grafite rigidu
Fabbricatu da carbone grafiticu di purezza ultra-alta, u feltru di grafite rigidu Semixlab hè un materiale d'isolamentu d'alte prestazioni specificamente cuncipitu per a crescita di monocristalli di SiC via u metudu PVT. A so bassissima cunduttività termica assicura un cuntrollu precisu di i gradienti di temperatura radiali è assiali, mentre a so struttura rigida mantene a stabilità meccanica à temperature estreme superiori à 2000 °C. Minimizendu a perdita di calore è priservendu campi termichi uniformi intornu à u crogiolu di sublimazione, l'RGF riduce e dislocazioni di u pianu basale, i difetti di impilamentu è a furmazione di microtubi, risultendu in boule 4H- è 6H-SiC di qualità superiore.
Description
U Feltru Rigidu di Grafite (RGF) Semixlab hè statu cuncipitu cum'è un cumpunente criticu di l'insulazione à alta temperatura è di a gestione termica per a crescita di u Trasportu Fisicu di Vapore (PVT) di monocristalli di SiC. Cuncipitu per l'usu in a pruduzzione di wafer 4H- è 6H-SiC di prossima generazione, questu feltru rigidu combina una cunduttività termica ultra bassa, una alta integrità strutturale è una purezza chimica eccezziunale, ciò chì ne face un materiale fundamentale in i forni di sublimazione di SiC à alte prestazioni. A so applicazione assicura un cuntrollu precisu di i gradienti termichi, cundizioni di crescita stabili è una qualità di cristalli migliorata in cicli di pruduzzione di longa durata.
In u prucessu SiC PVT, mantene un campu termicu consistente è uniforme hè di primura per ottene monocristalli senza difetti. U Feltru Rigidu di Grafite serve cum'è isolamentu primariu di u fornu, circundendu u crogiolu di sublimazione è e strutture di u campu termicu. A so bassa cunduttività termica riduce a perdita di calore indesiderata, mantenendu u gradiente di temperatura target trà a fonte SiC è u cristallu di semente. Cuntrullendu i profili di temperatura radiali è assiali, l'RGF minimizza a furmazione di dislocazioni di u pianu basale, difetti di impilamentu è microtubi, chì anu un impattu direttu nantu à l'integrità strutturale è e prestazioni elettroniche di i wafer SiC risultanti.
Oltre à e so capacità d'isolamentu termicu, a struttura rigida di u feltru di grafite di Semixlab furnisce stabilità meccanica in ambienti à alta temperatura chì superanu i 2000 ° C. À u cuntrariu di i feltri flessibili o morbidi, RGF mantene a so forma sottu cicli termichi prolungati, impedendu u colapsu o a deformazione chì puderia disturbà u campu termicu o compromette a durata di vita di u fornu. A so inerzia chimica assicura un rilasciu minimu di particelle è evita a contaminazione di a boule di SiC, chì hè cruciale per a pruduzzione di substrati d'alta resistività per l'elettronica di putenza è l'applicazioni di dispositivi à banda larga.
Fabbricatu cù carbone grafiticu d'alta purezza è tecniche avanzate di densificazione, u feltru rigidu di grafite Semixlab presenta una densità uniforme, una eccellente stabilità dimensionale è una durabilità à longu andà. A so cumbinazione di prestazioni termiche è rigidità meccanica permette à i fabbricanti di semiconduttori di ottene tassi di crescita consistenti, profili di temperatura riproducibili è tempi di inattività ridotti in i sistemi PVT. Ottimizendu l'efficienza termica di u fornu, RGF cuntribuisce ancu à u risparmiu energeticu mentre migliora l'uniformità è u rendimentu di e cialde.
U feltru di grafite rigidu di Semixlab offre e prestazioni, a purezza è a stabilità strutturale necessarie per supportà a crescita di monocristalli SiC di alta qualità, furnendu à i pruduttori una suluzione di materiale robusta per a pruduzzione di wafer di prossima generazione, una vita di u fornu estesa è una gestione termica superiore in ambienti à temperature estreme.
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