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Rivestimentu CVD Carbure di Tantalum (TaC).

Rivestimentu CVD Carbure di Tantalum (TaC).

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Anellu TaC poroso
Anellu TaC poroso
Anellu TaC poroso
Anellu TaC poroso

Anellu TaC poroso


Postu d 'Orighjini: China
Name Marca: Semixlab
Nombre Modèle: PTCR-001
certificazione: ISO9001
Ordine Minimum Quantità: ghjocu 1
Prezzo: Cuntattate per una quotazione persunalizata
Imballaggi Details: Pak ppubiu estivu
Time delivery: Tempu di consegna: 45-50 ghjorni dopu a cunferma di l'ordine
Cunnizzioni Pudeti: T / T
Ability Ability: 200 sets/mese
Description

U carburu di siliciu (SiC), un materiale semiconduttore di terza generazione, hà proprietà eccezziunali cum'è un altu bandgap, un'alta cunduttività termica è un campu elettricu à alta rottura, ciò chì u rende cruciale in campi cum'è i veiculi à nova energia, u trasportu ferroviariu, a cumunicazione 5G è l'elettronica di putenza. A crescita di monocristalli SiC richiede temperature estremamente elevate (> 2000 ° C) è ambienti fisichi è chimichi difficili, impunendu esigenze estremamente elevate à i cumpunenti chjave di l'attrezzatura di crescita, cum'è i crogioli è i cumpunenti di u campu termicu. Semixlab furnisce anelli porosi di carburu di tantalu (TaC), cù e so proprietà fisiche è chimiche uniche, chì sò diventati un materiale ideale per ottimizà u prucessu di crescita di monocristalli SiC.

Caratteristiche principali di l'anelli porosi di carburo di tantalu

1. Stabbilità alta temperatura

U puntu di fusione di u carburu di tantalu finu à 3880 ℃, in a gamma di temperatura di crescita di monocristalli di carburu di siliciu (2000-2500 ℃) per mantene a stabilità strutturale, evità a deformazione o a volatilizazione.

Coefficiente di dilatazione termica bassu (6.3 × 10⁻⁶/K), chì riduce u risicu di crepe causate da u stress termicu.

2. Inerzia chimica

Hà una forte cumpatibilità cù u carburu di siliciu, a grafite è altri materiali, è ùn reagisce micca cù u vapore di siliciu (Si) è di carbone (C) à alta temperatura per evità cristalli inquinanti. Eccellente resistenza à a corrosione di i gasi di siliciu/carbonu.

Quick Detail:

1. Altri nomi: Anellu TaC porosu, Carburu di tantalu porosu, Anellu rivestitu di TaC

2. Applicazione: Cum'è u cumpunente principale di u sistema di campu termicu, l'anellu TaC porosu regula a distribuzione di a radiazione di calore attraversu a so struttura porosa, riduce u gradiente di temperatura radiale è migliora l'uniformità di crescita assiale di u monocristallu di carburo di siliciu. Cumbinatu cù u riscaldatore di grafite, i difetti di stress cristallinu causati da u surriscaldamentu lucale ponu esse ridutti.

3. Parametri principali: puntu di fusione di u carburu di tantalu finu à 3880 ℃, in a gamma di temperatura di crescita di monocristalli di carburu di siliciu (2000-2500 ℃) per mantene a stabilità strutturale, evità a deformazione o a volatilizazione.

Coefficiente di dilatazione termica bassu (6.3 × 10⁻⁶/K), chì riduce u risicu di crepe causate da u stress termicu.

Travaux

L'applicazione chjave in a crescita di u monocristallu di carburu di siliciu

1. Cuncepimentu di u campu termicu è cuntrollu di a temperatura

Cum'è u cumpunente principale di u sistema di campu termicu, l'anellu porosu TaC regula a distribuzione di a radiazione di calore attraversu a so struttura porosa, riduce u gradiente di temperatura radiale è migliora l'uniformità di crescita assiale di u cristallu.

Cumbinatu cù u riscaldatore di grafite, i difetti di stress cristallinu causati da u surriscaldamentu lucale ponu esse ridutti.

2. Trasportu di gas è ottimizazione di reazione

In u fornu di crescita PVT, l'anelli porosi di TaC ponu esse aduprati cum'è mezu di diffusione di gas per distribuisce uniformemente u vapore Si/C à a superficia di u cristallu di sementi, ciò chì pò migliurà a velocità di crescita di u cristallu è a qualità di u cristallu.

A struttura di i pori pò adsorbe tracce d'impurità (cum'è ioni metallichi) è migliurà a purità di u cristallu (resistività > 10⁵ Ω·cm).

3. Assemblaggio di supportu à longa durata

Invece di i materiali tradiziunali di grafite, hè adupratu per anelli di supportu di crogioli o strati d'isolamentu termicu per evità u prublema di a polvere di grafite à alte temperature è allargà a vita di serviziu di l'equipaggiu (> 1000 ore).

A struttura porosa allevia a cuncentrazione di stress termicu è riduce u risicu di screpolatura.

L'anellu TaC hè utilizatu principalmente in u metudu PVT

In riassuntu, l'anellu TaC porosu di Semixlab migliora a qualità di i cristalli: u campu termicu uniforme riduce a densità di difetti è supporta a preparazione di monocristalli di SiC di grande dimensione di 6 pollici è più.

Ottimizazione di l'efficienza di u prucessu: Accelerate l'efficienza di trasmissione di gas è aumentate u ritmu di crescita di 10-15%.

Riduce i costi di pruduzzione: I cumpunenti à longa durata riducenu a frequenza di mantenimentu di l'attrezzatura, è u costu generale hè riduttu di 20-30%.

Advantage competitiva

Vantaghji di struttura porosa

A porosità cuntrullata (30-60%) ottimizza u percorsu di diffusione di u gasu è prumove un trasportu uniforme di vapore Si/C in PVT (metodu fisicu di trasportu di vapore).

L'alta superficia specifica migliora l'efficienza di a radiazione termica, aiuta à furmà un campu di temperatura uniforme è inibisce i difetti di cristallu (cum'è microtubuli è dislocazioni).

Chile

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